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產品中心 · product center
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高純度鋁合金濺射靶材
縱向式Cat-CVD設備CCV系列
縱向式Cat-CVD設備CCV系列
CCV系列
CCV Series是a-Si鍍膜用的縱向式CVD設備。有30年以上的量產實績。在各個chamber通過低壓鍍膜，得到高品質的膜質。
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枚葉式PECVD設備CME-200E/400
枚葉式PECVD設備CME-200E/400
CME-200E/400
枚葉式PE-CVD設備CME-200E/400是最適用于Si系絕緣膜、barrier膜等成膜的量產用PECVD設備。
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Load-lock式Plasma CVD設備 CC-200/400
Load-lock式Plasma CVD設備 CC-200/400
CC-200/400系列
Load-lock式Plasma CVD設備CC-200/400是小型的使用便利的可對應從研究開發到量產的設備。
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枚葉式等離子CVD設備CMD系列
枚葉式等離子CVD設備CMD系列
CMD系列
CMD系列是用SiH4和TEOS成膜的a-Si膜、氧化硅膜、氮化膜成膜用的枚葉式CVD設備。
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