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濺射鍍膜設備SMD系列（立式）
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SMD系列
SMD 系列是鍍金屬膜、ITO、IGZO、誘電體膜等的枚葉式濺射鍍膜設備。僅SMD系列就有超過1000臺的豐富的采用實績，在各種各樣的生產環境下運轉。及時反映從生產現場聽取的意見，進一步提高設備的可靠性。
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有機EL成膜設備SOLCIET, SATELLA, ZELDA系列
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ULVAC面向有機EL材料開發提供實驗用設備系統到量產Cluster系統設備和Inline系統設備。
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卷繞式濺射設備SPW系列
卷繞式濺射設備SPW系列
SPW系列
SPW系列設備，是可在塑料薄膜上進行光學膜、金屬膜等多層成膜的卷繞式設備。實施成膜室間的氣氛分隔，可以使高性能的多層膜一次性成膜。
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縱向式Cat-CVD設備CCV系列
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CCV系列
CCV Series是a-Si鍍膜用的縱向式CVD設備。有30年以上的量產實績。在各個chamber通過低壓鍍膜，得到高品質的膜質。
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